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集成电路行业废气处理如何保证效果?

【时间】:2019-03-12    【作者】:恒蓝环保编辑  【点击】:   TAG标签:   
        前几天,有客户打电话咨询集成电路的废气处理问题,小编与技术人员沟通后给客户回复了方案及报价,对于集成电路所产生的环保问题,主要有生产和生活废水,还有车间内的废气和固体废物等,对于废水和固废的处理本文不详细介绍,但是对于集成电路行业的废气处理,需要为您详细的介绍一下,以便对您选择环保设备有那么一点点的帮助,本文由恒蓝环保公司小编带您了解集成电路行业废气处理采用什么方法?
 
        首先,对于集成电路行业的废气需要归纳一下,这些废气是有几个种类呢?一般是有五种左右的不同废气,有酸性废气、碱性废气、有机废气、含尘废气、热无处理废气,因为集成电路的生产线通常是24小时的流水线,所以对于废气处理工程设计方面需要可靠。在生产集成电路的过程中所使用的硅烷、磷烷等特殊气体基本上均为危险、有毒化学品,在生产装置的工艺排气中有未反应的气体、特殊气体钢瓶交换时也有气体排出,且发生意外时,有可能大量的工艺气体因泄漏而排出,需要就近进行处理。处理的方法有水洗式、干式吸附式、燃烧/加热分解式。
 
集成电路行业废气处理如何保证效果?
集成电路行业废气处理如何保证效果?
 
      
言归正传,集成电路行业的废气需要采用废气净化塔进行处理,一般采用气液逆流操作,尾部的离心风机将收集到的废气吸到废气吸收洗涤净化塔内,经过喷淋层和填料层,废气与吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,废气经过三级净化后,再经除雾板脱水除雾后,引入吸附设备,利用蜂窝状活性炭的多孔结构,活性炭孔壁上的大量的分子可以产生强大的引力,从而达到将介质中的杂质吸引到孔径中的目的,然后经过15米的烟囱高空排放到大气中。
 
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